OPC仿真、交互式recipe开发平台
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本公司技术团队具有强大的研发能力,独立开发兼具模型精准以及方便易用的OPC软件,覆盖130-7nm所有工艺节点。后续会继续开发相关产业的周边软件,将形成覆盖光刻主流工艺的软件群。